光刻機(jī),作為芯片制造過程中不可或缺且技術(shù)含量極高的關(guān)鍵設(shè)備,一直以來都備受矚目。很多人都好奇:光刻機(jī)是哪國(guó)生產(chǎn)的?其實(shí),當(dāng)前全球范圍內(nèi)能夠進(jìn)行光刻機(jī)生產(chǎn)的國(guó)家并不多。其中,荷蘭在高端光刻機(jī)領(lǐng)域處于主導(dǎo)地位, ASML公司憑借其先進(jìn)的技術(shù)和強(qiáng)大的研發(fā)能力,幾乎壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)。日本也是光刻機(jī)生產(chǎn)強(qiáng)國(guó),尼康和佳能等企業(yè)在中低端光刻機(jī)領(lǐng)域有著一定的市場(chǎng)份額。此外,美國(guó)在光刻機(jī)相關(guān)技術(shù)研發(fā)方面也有著重要影響力。探究光刻機(jī)的生產(chǎn)國(guó),對(duì)于了解全球芯片制造產(chǎn)業(yè)格局有著重要意義。
光刻機(jī)是哪國(guó)生產(chǎn)的?光刻機(jī)是現(xiàn)在熱門話題,所有人都希望國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)雄起,這樣,國(guó)產(chǎn)芯片也會(huì)變得很強(qiáng)大。那么,光刻機(jī)中國(guó)能造嗎?可以,但沒有荷蘭頂尖,而且關(guān)鍵配件也依賴于進(jìn)口,所以,中國(guó)光刻機(jī)還有待發(fā)展,但我堅(jiān)信會(huì)成功。
荷蘭生產(chǎn)的光刻機(jī)是世界最頂尖的。荷蘭的ASML(阿斯麥)公司占據(jù)了全球光刻機(jī)七成以上的市場(chǎng)份額。在極紫外光(EUV)領(lǐng)域,ASML更是堪稱壟斷級(jí)別,一臺(tái)頂尖的光刻機(jī)價(jià)格高達(dá)數(shù)億歐元。
除了荷蘭,霓虹國(guó)日本的科技也是十分發(fā)達(dá)的,尼康、佳能這兩家日本公司也是光刻機(jī)的主要生廠商,以前挺牛逼的,只是現(xiàn)在完全被荷蘭阿斯麥給吊打了。另外,美國(guó)中國(guó)也可以制造,我國(guó)的技術(shù)可能差了一個(gè)太平洋吧。總體來說,光刻機(jī)技術(shù)主要掌握在荷蘭(主要)和日本(其次)手里。
中國(guó)是能夠生產(chǎn)光刻機(jī)的,只不過比較落后。現(xiàn)在國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的就是上海微電子研發(fā)的28nm光刻機(jī),世界上最知名的光刻機(jī)制造商就是荷蘭ASML,現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī)是5nm,兩者之間的差距在二十年以上。
國(guó)內(nèi)確實(shí)都在全力研發(fā)光刻機(jī),并且有了光刻機(jī)的技術(shù)是可以用到其他高技術(shù)裝備上的,比如生產(chǎn)TFT所需的PA機(jī),可以輕而易舉將2K分辨率提高至8K甚至10K。 但是,我們也要看到光刻機(jī)里所需的部件,尤其是兩個(gè)核心部件光柵和EUV高壓曝光燈目前是依靠進(jìn)口的,其中光柵來自美國(guó)。高壓燈應(yīng)該來自德國(guó),而且是個(gè)耗材,每2000小時(shí)需要更換。一旦人家停止供應(yīng),我們的光刻機(jī)就會(huì)變成一堆廢鐵。
在半導(dǎo)體裝備上,我們?nèi)钡臇|西太多,大家絕不要以為這是靠幾年時(shí)間,花幾千個(gè)億就可以完成全部國(guó)產(chǎn)化的。比如我們常說5納米、7納米,事實(shí)是納米的量具我們都是依賴進(jìn)口,沒有量具,就沒法調(diào)試透鏡的研磨機(jī)(又是進(jìn)口的),也沒法測(cè)量透鏡的加工精度。 如果我國(guó)可以完全自主生產(chǎn)光刻機(jī),掌握全部的核心部件生產(chǎn),那意味著我們的工業(yè)水平已經(jīng)超過了美日歐,這需要幾十年,投資不是以億計(jì),而是以兆計(jì)。
目前不管是荷蘭的頂級(jí)光刻機(jī),還是光刻機(jī)中最關(guān)鍵的零部件,都禁止向中國(guó)出售,中國(guó)只能采用國(guó)產(chǎn)配件。然而如果生產(chǎn)高端光刻機(jī)的話,很多關(guān)鍵部件都得采用最先先進(jìn)的,在中國(guó)光刻機(jī)技術(shù)被封鎖的情況下,光刻機(jī)的關(guān)鍵部件,中國(guó)必須一件件的突破,可以說是非常的困難,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化還需要很長(zhǎng)的路要走,據(jù)專業(yè)人士稱,至少需要20年的時(shí)間。如果說生產(chǎn)中低端的光刻機(jī),那么以中國(guó)的技術(shù),關(guān)鍵部件完全可以實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。
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