自動(dòng)化清洗設(shè)備(自動(dòng)化清洗設(shè)備解決方案_信息與通信_(tái)工程科技_專業(yè)資料)，36創(chuàng)業(yè)加盟網(wǎng)給大家?guī)碓敿?xì)的介紹，讓更多的人可以參考:自動(dòng)化清洗設(shè)備(自動(dòng)化清洗設(shè)備解決方案_信息與通信_(tái)工程科技_專業(yè)資料)。
自動(dòng)化清洗設(shè)備解決方案_信息與通信_(tái)工程科技_專業(yè)資料
自動(dòng)化清潔設(shè)備解決方案自動(dòng)化清潔設(shè)備解決方案日期：200 8. 9. 12系統(tǒng)介紹：系統(tǒng)介紹根據(jù)英特爾摩爾定律，晶圓工藝每18個(gè)月將翻倍。該領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，其生產(chǎn)過程和系統(tǒng)穩(wěn)定性需要同時(shí)提高數(shù)十倍甚至數(shù)百倍。因此，半導(dǎo)體制造商必須改善設(shè)備制造工藝以滿足客戶的需求，并且已經(jīng)出現(xiàn)了12'晶圓清洗設(shè)備。半導(dǎo)體12'晶圓清洗設(shè)備適用于高精度和昂貴的晶圓生產(chǎn)工藝，并且需要較高的加工條件和精度。近年來自動(dòng)化清洗設(shè)備，大多數(shù)制造商已將這些機(jī)器集成到智能功能和集成的節(jié)能功能中。系統(tǒng)要求：系統(tǒng)要求。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)習(xí)慣于采用“ PLC +觸摸屏”作為主要系統(tǒng)集成。當(dāng)設(shè)備較大到一定程度時(shí)，其運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和配置將面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。因此，如果僅是普通的“ PLC +”的“觸摸屏”方法就會(huì)遇到很多問題，例如：設(shè)備的巨大尺寸增加了布線的復(fù)雜性和系統(tǒng)運(yùn)輸?shù)碾y度，則高速數(shù)據(jù)采集超過了100通道和精確模擬輸出的實(shí)時(shí)性能以及多于60個(gè)軸的多軸聯(lián)動(dòng)控制集成開發(fā)的困難，操作系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和穩(wěn)定性，難以訪問大量參數(shù)公式的困難解決方案：解決方案IPPC-4000D FPM-3150G PCI-1758UDIO PCI-1724U PCI-1747U PCI-1202U AMAX-2241 / PMA AMAX-2756SY PCI-1671 5. 7'VGA TFT LCD 4U 19'機(jī)架安裝型工業(yè)自動(dòng)化機(jī)箱，帶有7個(gè)擴(kuò)展插槽15'LCD（Direct-VGA端口）工業(yè)平板顯示器128通道隔離的數(shù)字I / O通用PCI卡14位，32通道隔離肛門的og輸出卡250kS / s，16位，64通道通用PCI卡2端口AMONet RS-485 PCI主卡帶AMONet接口的4軸運(yùn)動(dòng)控制從模塊32通道隔離數(shù)字量輸入/輸出從模塊，用于PCI總線計(jì)算機(jī)高端性能的IEEE-48 8. 2系統(tǒng)架構(gòu)圖：系統(tǒng)架構(gòu)圖系統(tǒng)說明：系統(tǒng)說明該系統(tǒng)使用IPPC-4000D雙核高性能控制器，并結(jié)合了數(shù)據(jù)采集卡（PCI-1724U，PCI-1747U自動(dòng)化清洗設(shè)備，PCI -1785UDIO）和分布式運(yùn)動(dòng)控制解決方案PCI-1202U，AMAX -2241，AMAX-2756SY，構(gòu)建了當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)最穩(wěn)定，最先進(jìn)的自動(dòng)化系統(tǒng)，并控制晶圓生產(chǎn)中的所有化學(xué)材料部署，清潔和運(yùn)輸過程過程。
AMAX系列從模塊和高精度驅(qū)動(dòng)電機(jī)之間的完美集成實(shí)現(xiàn)了復(fù)雜的晶圓運(yùn)輸。通過結(jié)合高速數(shù)字量的輸入和輸出控制，可以確保準(zhǔn)確確定晶片的生產(chǎn)位置，監(jiān)視所有化學(xué)劑量操作的精度以及集成控制的集成和優(yōu)化。晶圓清洗設(shè)備內(nèi)部控制60組電機(jī)，300點(diǎn)數(shù)字輸入和100點(diǎn)模擬輸入和輸出，并通過GPIB接口和儀表完成藥物的制備和監(jiān)控。該系統(tǒng)提供了豐富的通訊端口，并支持各種系統(tǒng)設(shè)備，例如按鈕，指示燈，生產(chǎn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。利用Microsoft嵌入式系統(tǒng)和開發(fā)系統(tǒng)的集成優(yōu)勢(shì)，可以輕松實(shí)現(xiàn)人機(jī)界面和數(shù)據(jù)庫的轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)，并且可以通過以太網(wǎng)端口將生產(chǎn)數(shù)據(jù)上傳到后端數(shù)據(jù)庫。結(jié)論：結(jié)論：該系統(tǒng)通過集成雙核控制器，各種數(shù)據(jù)采集卡，分布式運(yùn)動(dòng)控制方案和各種功能模塊，大大縮短了系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間，并有效地提高了生產(chǎn)的精度和穩(wěn)定性。基于AMONet分布式體系結(jié)構(gòu)的高度穩(wěn)定和高效的運(yùn)動(dòng)通信機(jī)制，結(jié)合模塊化和前線設(shè)計(jì)功能，可以輕松構(gòu)建各種大型測(cè)試設(shè)備和長距離生產(chǎn)線。同時(shí)，AMONet的靈活結(jié)構(gòu)可以滿足方便的設(shè)備拆卸和組裝需求自動(dòng)化清洗設(shè)備，從而大大降低了運(yùn)輸和維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)。該系統(tǒng)增加了電子測(cè)量數(shù)據(jù)，計(jì)算機(jī)，網(wǎng)絡(luò)通訊，實(shí)時(shí)自動(dòng)控制，設(shè)備自動(dòng)調(diào)整和系統(tǒng)自診斷等功能，確保了生產(chǎn)的可靠性和控制的精度，提高了生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。
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