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自動化清洗設備解決方案_信息與通信_工程科技_專業資料
自動化清潔設備解決方案自動化清潔設備解決方案日期：200 8. 9. 12系統介紹：系統介紹根據英特爾摩爾定律，晶圓工藝每18個月將翻倍。該領域不斷擴大，其生產過程和系統穩定性需要同時提高數十倍甚至數百倍。因此，半導體制造商必須改善設備制造工藝以滿足客戶的需求，并且已經出現了12'晶圓清洗設備。半導體12'晶圓清洗設備適用于高精度和昂貴的晶圓生產工藝，并且需要較高的加工條件和精度。近年來自動化清洗設備，大多數制造商已將這些機器集成到智能功能和集成的節能功能中。系統要求：系統要求。傳統的半導體設備開發習慣于采用“ PLC +觸摸屏”作為主要系統集成。當設備較大到一定程度時，其運動控制技術和配置將面臨嚴峻挑戰。因此，如果僅是普通的“ PLC +”的“觸摸屏”方法就會遇到很多問題，例如：設備的巨大尺寸增加了布線的復雜性和系統運輸的難度，則高速數據采集超過了100通道和精確模擬輸出的實時性能以及多于60個軸的多軸聯動控制集成開發的困難，操作系統的長期穩定性和穩定性，難以訪問大量參數公式的困難解決方案：解決方案IPPC-4000D FPM-3150G PCI-1758UDIO PCI-1724U PCI-1747U PCI-1202U AMAX-2241 / PMA AMAX-2756SY PCI-1671 5. 7'VGA TFT LCD 4U 19'機架安裝型工業自動化機箱，帶有7個擴展插槽15'LCD（Direct-VGA端口）工業平板顯示器128通道隔離的數字I / O通用PCI卡14位，32通道隔離肛門的og輸出卡250kS / s，16位，64通道通用PCI卡2端口AMONet RS-485 PCI主卡帶AMONet接口的4軸運動控制從模塊32通道隔離數字量輸入/輸出從模塊，用于PCI總線計算機高端性能的IEEE-48 8. 2系統架構圖：系統架構圖系統說明：系統說明該系統使用IPPC-4000D雙核高性能控制器，并結合了數據采集卡（PCI-1724U，PCI-1747U自動化清洗設備，PCI -1785UDIO）和分布式運動控制解決方案PCI-1202U，AMAX -2241，AMAX-2756SY，構建了當今半導體行業最穩定，最先進的自動化系統，并控制晶圓生產中的所有化學材料部署，清潔和運輸過程過程。
AMAX系列從模塊和高精度驅動電機之間的完美集成實現了復雜的晶圓運輸。通過結合高速數字量的輸入和輸出控制，可以確保準確確定晶片的生產位置，監視所有化學劑量操作的精度以及集成控制的集成和優化。晶圓清洗設備內部控制60組電機，300點數字輸入和100點模擬輸入和輸出，并通過GPIB接口和儀表完成藥物的制備和監控。該系統提供了豐富的通訊端口，并支持各種系統設備，例如按鈕，指示燈，生產數據存儲和驅動馬達。利用Microsoft嵌入式系統和開發系統的集成優勢，可以輕松實現人機界面和數據庫的轉換和存儲，并且可以通過以太網端口將生產數據上傳到后端數據庫。結論：結論：該系統通過集成雙核控制器，各種數據采集卡，分布式運動控制方案和各種功能模塊，大大縮短了系統的響應時間，并有效地提高了生產的精度和穩定性。基于AMONet分布式體系結構的高度穩定和高效的運動通信機制，結合模塊化和前線設計功能，可以輕松構建各種大型測試設備和長距離生產線。同時，AMONet的靈活結構可以滿足方便的設備拆卸和組裝需求自動化清洗設備，從而大大降低了運輸和維護的風險。該系統增加了電子測量數據，計算機，網絡通訊，實時自動控制，設備自動調整和系統自診斷等功能，確保了生產的可靠性和控制的精度，提高了生產的質量和效率。
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